据悉，由于新型冠状病毒疫情影响，作为全球唯一一家生产EUV光刻机的制造商荷兰ASML公司很难将设备出口，将导致三星原本向荷兰ASML订购EUV光刻机出口 交货受影响，进而造成其5nm技术应用部署将因此延后。

业内人士表示，荷兰ASML设备交付影响了三星、台积电这两家巨头的研发、生产进度，其中三星遭受的损失会更大。

由于台积电在去年便扩大采购ASML旗下EUV光刻机，采购占比几乎高达ASML总出货量的一半以上，并且计划应用在今年第二季大规模量产的5nm工艺产品，其中包含华为、高通、AMD，以及苹果旗下新款处理器，虽然整体多少还是受到疫情影响，但台积电强调5nm工艺技术影响程度不大，仅接下来的3nm工艺试产可能会有延后情况。

而三星方面虽然也进入5nm工艺技术应用布局，但主要还是先聚焦在DRAM在内内存产品，加上先前EUV光刻机订购数量相对较少，目前更因疫情影响设备交货时程，使得三星在5nm工艺技术用于处理器产品量产脚步将面临落后。

台积电在5nm竞赛上领 先三星，因此这种由于疫情导致的计划推迟使得三星与台积电的差距会越来越大，这样导致的结果是三星公司几乎不可能从苹果、高通等巨头那里获得订单支持。

另一方面，台积电计划在2020年第二季度为苹果、华为、AMD生产5nm芯片，而三星尚未提供大规模量产5nm工艺的详细时间表，二者的差距有望进一步扩大。

另外，市场也有消息指称苹果已经向台积电预订大量5nm工艺技术产能，预期将会用于新款A14处理器量产，并且将应用在今年下半年准备推出的iPhone12系列手机，甚至苹果还一度要求预订台积电今年第四季的5nm工艺技术产能，因此有可能影响其他诸如华为、高通及AMD处理器产品生产比例。

不过，其他消息也指称华为取消原本向台积电预订的5nm工艺技术产能。