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光刻机的风波再起:中科院入局后,ASML态度转变

2020-10-19 10:39 来源:慧聪电子网 作者:

目前国内芯片最受限制的地方就是“光刻机”,作为生产芯片中的重要的一部分,咱们国内的先进光刻机却一台都没有。

可能有人会说是不是美国的原因,实际上也不是,因为现在世界上先进的光刻机也不是美国造的,是荷兰的ASML公司制造,目前占了全球的80%以上的光刻机市场,而且也是目前唯一一家能够量产EUV光刻机的企业。

国内曾向ASML购买过两部光刻机,可是因为美国的阻碍,造成ASML一直无法供货。

先进工艺芯片制造中的一个重要环节,就需要光刻机来完成,准确的说,是EUV型的光刻机。现阶段在我国的光刻机水准在90纳米技术,在二零二一年可能发布28纳米技术的光刻机产品,据了解假如通过多重曝光技术,还可以生产制造14纳米技术工艺的芯片。

为了更好地攻克这一难点,中科院此前已公布布局光刻机的研发。

这一信息让ASML倍感压力。

当地时间10月14日,半导体巨头、全球光刻机领头企业ASML首席财务官罗杰·达森(RogerDassen),对向中国出口光刻机的问题作出了表态。他表示,ASML可以从荷兰向中国出口DUV(深紫外)光刻机,无需美国许可。

但他随后也补充称,如果相关系统或零件是从美国出口的,那这些设备仍然需要得到美方的许可。

光刻机的风波再起:中科院入局后,ASML态度转变

采访视频截图

达森表示,ASML将尽最大努力,尽可能为所有客户继续提供服务和支持。

根据公开的财报电话会议录音,ASML首席执行官彼得·韦尼克(PeterWennink)也在会议上确认了这一点。韦尼克称,根据当前美国的规定,直接从荷兰向中国出口的DUV光刻机不受影响。

但达森和韦尼克都强调的是DUV光刻机出口,并未提到更先进的EUV(极紫外)光刻机。14日在报道中也强调,DUV的规则不适用于EUV光刻机。ASML必须获得许可证才有可能向中国企业出口EUV光刻机。但荷兰政府已经暂缓了EUV光刻机出口许可,一直到现在都没有批准。

光刻机的风波再起:中科院入局后,ASML态度转变

“尽管被夹在中美之间,ASML仍积极努力”,报道截图

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