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年来，电子信息产业迅猛发展，为了追求电子产品的高性能及便捷性，集成电路规模不断扩大，特征线宽不断缩小，当前国际上的工艺已经进展10纳米以下，7纳米已经量产，5纳米也已经试产，将于2020年正式量产。[详细]
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