经过三年的持续研发，杭州士兰微电子股份有限公司(下称士兰微电子)研发的MEMS硅麦克风近期成功量产，推出了专门为快速增长的消费终端市场开发的高性能MEMS硅麦克风系列产品，该系列产品可广泛应用于智能音箱、TWS耳机、蓝牙耳机、降噪耳机、带录音耳机、智能耳机、蜂窝电话智能手机、笔记本电脑、数字摄录机、便携式录音机录音笔、智能遥控器、IPCamera等具有采集声音功能的便携式数码产品。

表面形貌示意图

士兰全系列硅麦克风产品采用小型化无引脚贴片封装，尺寸大小为3.76mm*2.95mm*1.10mm、3.76mm*2.24mm*1.1mm和2.75mm*1.85mm*0.90mm等，外形完全兼容目前市场上的同类产品。该系列是全向性MEMS硅麦克风产品，具有高性能、高一致性、高抗冲击能力、低功耗等诸多优点，内部包含士兰微电子自研自产的声学传感器器件、低噪声输入级电路以及输出放大电路，并内置了RF抑制电路，具有高灵敏度、高SNR以及平坦且宽的频率响应特性，可以显著改善音频采集的质量。

此外，该系列低功耗产品可以很大程度上延长便携式产品的使用寿命，产品具有1.5V-3.6V的宽电源电压范围，可以做到单节电池供电，具有60-65dB的SNR，低至120uA的超低功耗，平坦的频率响应、具有非常稳定的性能，兼容SMT工艺流程，具有10000g的高G抗击能力。

产品轮廓仪扫描图

士兰微电子从2010年开始持续投入研发MEMS传感器，依托设计、制造一体的模式，在产品研发、制造和封装上各关键领域均获得不俗成果，已经陆续研发出了三轴加速度计传感器、六轴惯性传感器、磁传感器、压力传感器、麦克风传感器、霍尔传感器和光传感器。其中三轴加速度计传感器、六轴惯性传感器、压力传感器、磁传感器、光传感器、心率传感器和硅麦克风传感器已经或正在导入量产，在自有的芯片制造和封装体系支持下，已经具有了成系列产品供货能力，产品竞争力持续增强。