微信
投稿

Brewer Science携手Arkema开发第二代DSA材料

2017-07-24 11:14 来源:digitimes 作者:

BrewerScienceInc.透过SEMICONWest分公司宣布,将与Arkema共同合作,连手开发用于High-x(chi)嵌段共聚物的第二代定向自组装技术(DirectedSelf-Assembly;DSA)材料。

相较于第一代的DSA材料而言,这些全新的材料能够达成更小的组件尺寸,所以相当适合先进节点晶圆曝光制程使用。这些材料能够提供客户符合成本效益的解决方案,让装置节点缩小至5奈米甚至更小的尺寸,进而延续摩尔定律预测下的进程。

BrewerScienceInc.业务单位经理DarronJurajda表示,就像所有值得开发的科技一样,进入量产阶段前,必定会有许多等待解决的挑战。运用先前与Arkema联合开发的DSA,为下一代材料的导入提供最佳方针。在双方共同合作的基础下,能解开DSA最完整的潜能,让产业能够按照既定的时间表继续制造最佳的产品。

High-Chi嵌段共聚合物将进一步延伸DSA的优势,达到满足5奈米以下的组件尺寸要求。拓展双方的合作关系可以让这些公司扩充他们的知识库,让这些公司能在开发High-Chi材料的领域取得领先地位。

由于组件尺寸会随着每次节点的进程而需要而大幅缩减,因此使用现有的曝光制程(例如EUV、自动对位双重曝光和自动对位四重曝光)将使得成本大幅提高而影响量产。这种情况对于准备迈进7奈米和5奈米制程的晶圆代工与积体装置制造厂是一大挑战。

DSA提供另一种达成精密组件曝光的解决方案;让制造厂能探索极简投资的可能;并且在最终量产阶段可符合成本效益。High-Chi材料的研发亦能拓展在其他应用领域中导入DSA的机会,包含光子学、薄膜应用和其他微电子学。

两家公司之间原本的合作,结合了BrewerScience在曝光与制程领域的技术知识与Arkema在嵌段共聚合物研发领域中先进独到的专业技术,共同开发聚苯乙烯-聚甲基丙烯酸甲酯DSA材料,这种材料已准备好用于次22奈米组件的量产阶段。

免责声明: 凡注明来源本网的所有作品,均为本网合法拥有版权或有权使用的作品,欢迎转载,注明出处。非本网作品均来自互联网,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

精彩评论

暂无评论...
验证码 换一张
取 消

热门作者

东方

简介: 天马行空的文字之旅。

邮箱: liutingting03@hczyw.com

简介: 保持期待,奔赴山海。

邮箱: zhuangjiaxin@hczyw.com

松月

简介: 脚踏实地,仰望星空。

邮箱: wuxiaqing@hczyw.com

合作咨询:15889679808               媒体咨询:13650668942

广州地址: 广州市越秀区东风东路745号紫园商务大厦19楼

深圳地址: 广东省深圳市龙华区五和大道星河WORDC座5F506

北京地址: 北京市朝阳区小关东里10号院润宇大厦2层

慧聪电子网微信公众号
慧聪电子网微信视频号

Copyright?2000-2020 hczyw.com. All Rights Reserved
慧聪电子网    粤ICP备2021157007号