目前，EUV光刻机的部署安装主要在台积电、三星的晶圆代工厂。不过，内存厂商们也开始着手上马了。

此前，SK海力士规划的是为年底建成的M16工厂配备，但来自德国CB的消息称，M14老厂也会引进。

EUV光刻机参与的将是SK海力士的第四代(1a nm)内存，在内存业内，目前的代际划分是1x、1y、1z和1a。

EUV光刻机的参与可以减少多重曝光工艺，提供工艺精度，从而可以减少生产时间、降低成本，并提高性能。

当然，EUV光刻机实在是香饽饽。唯一的制造商ASML(荷兰阿斯麦)产能极有限，尽管一台要10亿元左右，可仍旧供不应求。这一回新老工厂其上位，不知道SK海力士从ASML那里敲定了多少台。

另外，本次报道称，三星2021年将投产EUV工艺生产的内存，也就是早些时候发布的16Gb容量LPDDR5。