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日本Rapidus启动2nm GAA晶体管试制,2027年量产计划不变

2025-07-22 09:42 来源:电子工程专辑 作者:

7月18日,日本半导体制造商Rapidus宣布,正式启动了2nm GAA(全环绕栅极)晶体管的试制,并成功展示了其首块2nm GAA晶圆。这一进展标志着日本在先进制程技术领域迈出了关键一步,也为未来2nm制程的量产奠定了基础。

据悉,Rapidus首块2nm GAA晶圆直径30厘米,“确认了足以令客户候选满意的运作性能”。此次公开的晶圆仍处于中间阶段,仅包含部分必要功能。Rapidus计划进一步改善晶体管性能,争取在年内完成开发。

日本Rapidus启动2nm GAA晶体管试制,2027年量产计划不变

2nm GAA晶体管原型晶圆  图源:Rapidus官网

日本长期以来依赖美国、韩国和中国台湾地区的半导体供应链,尤其是在先进制程芯片方面。Rapidus的2纳米芯片计划旨在打破这一依赖,使日本能够在领先节点上实现本土制造。这不仅有助于减少对外国技术的依赖,还能增强日本在全球半导体产业链中的地位。

Rapidus由丰田、索尼、NTT、NEC、软银、Denso、铠侠、三菱UFJ等8家日本企业共同出资成立,目标是开发和生产最先进的半导体工艺。其首座晶圆厂IIM-1于2023年9月1日奠基,2024年12月完成了洁净室准备,2025年4月1日实现了初始图案的曝光与显影,并在2025年6月完成了由200多个制造单元构成的生产线。

从技术角度来看,Rapidus的2nm工艺采用了BSPDN和GAA技术,使其在性能和能效方面具有显著优势。这种技术路线的选择使得Rapidus在先进制程领域具备一定的独特性。然而,由于2nm技术仍处于研究阶段,Rapidus面临着良率和可靠性方面的挑战。

在资金支持方面,日本政府对Rapidus提供了大量财政支持。据悉,日本经济产业省批准了对Rapidus的2025财年资助计划,前端与后端工艺各分得至高6755亿日元和1270亿日元,多年累计资助总额达1.7225万亿日元。这些资金的注入为Rapidus的2nm工艺研发和量产提供了有力保障。

日本Rapidus启动2nm GAA晶体管试制,2027年量产计划不变

Rapidus在7月18日举行的新闻发布会   图源:Rapidus官网

尽管Rapidus在2nm工艺上取得了重要进展,但其量产时间表仍面临一定的不确定性。台积电计划在2025年量产2nm芯片,而Rapidus的目标是2027年实现量产。这意味着Rapidus将比台积电晚两年实现量产。对此,Rapidus社长小池淳义近期表示,公司将通过采用新的生产方式,从下单到芯片生产和组装的速度可以达到台积电的2-3倍以上,从而通过缩短生产时间来实现差异化。

此外,小池淳义还透露,Rapidus计划在2nm之后生产下一代1.4nm。

目前,Rapidus正在积极准备其2nm制程的商业化应用,开发与其2nm工艺兼容的PDK(工艺开发套件),计划在2026年一季度结束前向客户交付,2027年实现2nm量产。

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