在可穿戴设备、物联网、机器人等方面,MEMS惯性传感器应用非常多。而高精度的MEMS惯性传感器,更是军用级和宇航级产品。本内容短小精悍,知识点很密集,介绍了MEMS惯性传感器的特点、技术原理,因为MEMS惯性传感器使用微米甚至纳米量级的制造技术,因此本文给出了多幅剖析图,可以直观了解压阻式、电容式、谐振式、隧道式、伺服式MEMS惯性传感器的工作原理和结构。PS:如需了解传感器技术、MEMS传感器技术、传感器与测试技术、物联网传感器技术、智能汽车传感器技术等知识请关注传感器专家网公众号,查看往期内容。