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晶盛机电:加速半导体装备国产化

2017-07-27 10:17 来源:上虞日报 作者:

最近,浙江晶盛机电股份有限公司喜事不断,继8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制课题正式通过国家科技重大02专项专家组验收,刚装配完成的超导磁场单晶硅生长炉又将走向市场,其中配置的超导磁场能耗更低,还可有效提高单晶硅品质,技术达到国际同类先进水平。

浙江晶盛机电股份有限公司创立于2006年,是一家专业从事半导体、光伏设备研发及制造的高新技术企业。公司从创立之初起,就立足高起点、差异化产品创新,相继研发成功了水冷夹套技术、连续加料装置等多项国内外首创技术,实现了硅晶体生长“全自动、高性能、高效率、低能耗”的国内领先、国际先进的技术优势。2007年4月,公司自主研制成功国内首台全自动单晶硅生长炉,达到国际同类产品先进水平,打破了高端单晶炉技术长期被国外垄断的产业格局,填补了国内空白,实现了高端单晶炉的进口替代。

“科研是我们的强项,也是我们唯一的出路。”公司董事长曹建伟介绍,公司核心创业团队来自浙江大学,创业以来高度重视研发经费与人力的投入,近三年公司合计投入研发费用1.5亿,约占近三年销售收入的8%。这几年,晶盛机电一直保持1-2年研发新一代设备的高频率,迄今公司已获得国家专利222项,另有59项控制软件获国家软件著作权,逐步形成了全自动单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、区熔硅单晶炉、蓝宝石晶体炉以及单晶硅棒切磨复合加工一体机等,广泛应用于半导体硅片、太阳能光伏、IGBT功率器件、LED光电子和蓝宝石窗口材料等新兴产业。

经过11年高速发展,晶盛机电已成为国内技术领先、规模最大的区熔硅单晶炉、直拉硅单晶炉、高效多晶硅铸锭炉三大系列生长设备的供应商,其中多项设备打破国外技术垄断,填补国内空白。晶盛机电坚持“新材料、新装备”的发展战略,积极布局半导体和蓝宝石晶体材料领域,现已形成了从晶体生长装备,到晶体材料的研发、生产、加工为一体的大型、完整的产业布局。目前,晶盛机电已占据国内上游晶体生长装备90%的高端市场。单今年上半年,经公告的重大订单(含已经中标尚未签订合同)就已超过30亿元。

“目前,晶盛机电正以年产1300台套晶体生长及加工设备扩建项目为契机,进一步做大做强晶体生长和加工智能化装备先进制造。”曹建伟说,“我们的目标,是全面提升半导体装备国产化水平,提升公司在半导体装备领域的全球竞争力。”

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