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本文简单介绍了为何要沟槽填充以及有哪些填充技术。PVD，CVD有很多种类，它们分别用在哪些芯片节点的沟槽填充中？为什么要填充？在浅沟槽隔离，接触孔，沟槽中都需要进行填充。主要是实现：1，电气隔离2，互连有哪些[详细]
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