光刻设备
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套刻精度已达2μm，芯碁微装直写光刻设备获头部封测企业订单
近期，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”）宣布，公司面向中道领域的晶圆级及板级直写光刻设备系列已获得重大市场突破。公司已与多家国内头部封测企业签订采购订单，产品主要应用于 SoW、CIS、类[详细]
2025-09-03 11:51 分类：封装测试 我国在新型直接光刻设备研发中抢占先机
近日，一种新型的中紫外直接光刻机由中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队在国内研制成功。该设备采用特有的高均匀、高准直中紫外照明技术，结合光敏玻璃材料，实现基于光敏玻璃基底的微细结构直接加工，[详细]
2017-04-17 08:54 分类：行业芯闻
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